・面発光をレンズと同軸上から照射させる照明 ・直接光をワークに照射し、正反射された画像が得られる
・ICボイド検査 ・プリント基板のパターン検査 ・基板のアライメントマーク ・チップ部品、ウエハーの傷検査 ・ガラス基板の表面傷検査 ・リードフレーム打痕検査