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同軸で正反射光観察

  • ハーフミラーを使用することで、カメラ軸と同軸で光を照射することができます。

特 長

・面発光をレンズと同軸上から照射させる照明
・直接光をワークに照射し、正反射された画像が得られる

用途例

・ICボイド検査  ・プリント基板のパターン検査  
・基板のアライメントマーク
・チップ部品、ウエハーの傷検査  
・ガラス基板の表面傷検査  ・リードフレーム打痕検査