・ワークに対して浅い角度から照射し、表面の傷などを抽出できる照明 ・斜め方向から照射して映り込みを抑制し、散乱率の差を抽出する
・レーザー等の刻印読取 ・BGAの半田ボール検査 ・ウエハーやガラス基板の傷、汚れ検査 ・基板、シートのエッジ検査 ・その他、エッジ抽出の検査用途